Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Voigt, Sebastian ; Freitag, Markus ; Krishna, Varsha ; Hahn, Susann ; Hiller, Karla ; Mehner, Jan
Entwurf, Fabrikation und Test einer 3-DOF-Positionierplattform mit thermischen Aktoren
Design, fabrication and test of a 3-DOF positioning plattform using thermal actuators
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-5090-0 | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress 2019. - Berlin : VDE, 2019, S. 193 - 196 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , thermal actuator , positioning |
