Weißbach, Marie ; Auerswald, Ellen ; Hildebrandt, Marcus ; Rzepka, Sven
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-95735-082-4 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration SSI, 11-12 April, Dresden, pp. 515-518 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | NanoEIS+ |
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