Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Böttger, Simon ; Bonitz, Jens ; Kini, Mandar ; Schulz, Stefan E. ; Hermann, Sascha
Adding CNT-based functionality to MEMS: A technology demonstration for strain and IR sensors on wafer scale
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4789-4 | |
| Quelle: | Mikro-Nano-Integration 2018, Dortmund (Germany); 2018 Oct 22-23; Proceedings; 7 (2018); pp 19-22 |
