Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meszmer, Peter* ; Rodriguez, Raul D. ; Sheremet, Evgeniya ; Zahn, Dietrich R. T. ; Wunderle, Bernhard
Stress imaging in structural challenging MEMS with high sensitivity using micro-Raman spectroscopy
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0026-2714 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.microrel.2017.10.010 | |
| URL/URN: | https://doi.org/10.1016/j.microrel.2017.10.010 | |
| Quelle: | In: Microelectronics Reliability. - .Elsevier B.V. - 79. 2017, S. 104 - 110 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Stress , FEM simulation , Micro-Raman spectroscopy |
