Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schüller, Martin ;
Otto, Thomas ;
Mehner, Jan ;
Tröltzsch, Jürgen ;
Kroll, Lothar
Otto, Thomas (Hrsg.)
Increase of functional density of hybrid structures by integration of micro and nano systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 2: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 3: | Professur Strukturleichtbau / Kunststoffverarbeitung | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-95735-057-2 | |
| Quelle: | SSI 2017: Smartsystems integration : International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems, pp. 475-478 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | microsystem , nanosystem , hybrid structure |
