Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Onken, Tim ; Heilmann, Jens ; Bieniek, Tomasz ; Pufall, Reinhard ; Wunderle, Bernhard
High Cycle Fatigue Testing and Modelling of Sputtered Aluminium Thin Films on Vibrating Silicon MEMS Cantilevers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5090-2106-2 USB ISBN: 978-1-5090-2120-8 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1109/EuroSimE.2016.7463332 | |
| Quelle: | 17th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), April 18-20, 2016, Montpelier, France. - IEEE, 2016 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | fatigue , MEMS cantilever , thin aluminium film , simulation , experiment |
