Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Förster, Anja ; Wagner, Christian ; Schuster, Jörg ; Friedrich, Joachim
Ab initio study of the trimethylaluminum atomic layer deposition process on carbon nanotubes—An alternative initial step
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0734-2101 E-ISSN: 1520-8559 | |
| URL/URN: | doi:10.1116/1.4968196 | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science & Technolology A. - A I P Publishing LLC. - 35. 2017, 1, 01B113-1 - 01B113-7 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | carbon nono tubes , CNTs , atomic layer deposition |
