Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Lerner, Ralf* ; Schottmann, Klaus ; Hering, Siegfried ; Käberlein, Andreas ; Fritzsch, Matthias ; Schneider, Klaus ; Beyer, Daniel ; Heinz, Steffen
Comparison of different device concepts to increase the operating voltage of a trench isolated SOI technology to above 900V
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0353-3670 ; eISSN: 2217-5997 | |
| URL/URN: | doi:10.2298/FUEE1504645L | |
| Quelle: | In: Facta universitatis - series: Electronics and Energetics. - 28. 2015, 4, S. 645 - 656 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Trench isolated SOI , integrated high voltage devices , high voltage device concepts |
