Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hu, Xiao* ; Schuster, Jörg ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Surface chemistry of copper metal and copper oxide atomic layer deposition from copper(II) acetylacetonate: a combined first-principles and reactive molecular dynamics study
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Print + online 2016: ISSN 1463-9076 ; Online only 2016: ISSN 1463-9084 | |
| URL/URN: | doi:10.1039/c5cp03707g | |
| Quelle: | In: Physical Chemistry Chemical Physics. - 17. 2015, 40, S. 26892 - 26902 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | cu acetylacetonate , atomic layer deposition |
