Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Förster, Anja* ; Wagner, Christian ; Gemming, Sibylle ; Schuster, Jörg
Theoretical investigation of an in situ k-restore process for damaged ultra-low-k materials based on plasma enhanced fragmentation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Theoretische Physik quantenmechanischer Prozesse und Systeme | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 2166-2746 ; E-ISSN: 2166-2754 | |
| DOI: | doi:10.1116/1.4927564 | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science & Technology B. - AIP. - 33. 2015, 5, 052203-1 - 052203-5 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | silicon , dangling bonds , density functional theory , porous materials |
