Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ding, Li ; Friedrich, Marion ; Fronk, Michael ; Gordan, Ovidiu-Dorin ; Zahn, Dietrich R. T. ; Chen, Lin ; Zhang, David Wei ; Cobet, Christoph ; Esser, Norbert
Correlation of band gap position with composition in high-k films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2166-2746 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1116/1.4866399 | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science and Technology. Part B. Nanotechnology & Microelectronics. - 32. 2014, 3, 03D115-1 - 03D115-4 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | high-k-films |
