Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jia, Chenping ; Wiemer, Maik ; Otto, Thomas ; Gessner, Thomas
Silicon micromachined membrane actuator for ultrasound generation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 3-933339-08-1 | |
| Quelle: | Proceedings of the 10th International Conference on New Actuator. - Bremen(Germany) : HVG Hanseatische Veranstalungs-GmbH, 2006, S. 227 - 230 |