Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Braeuer, Joerg ; Besser, Jan ; Tomoscheit, Eric ; Klimm, Daniela ; Anbumani, Saravanan ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
Investigation of Different Nano Scale Energetic Material Systems for Reactive Wafer Bonding
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1938-5862 (print), 1938-6737 (online) | |
| URL/URN: | doi:10.1149/05007.0241ecst | |
| Quelle: | PRiME 2012, October 7- October 12, 2012 Honolulu, HI. - ECS Transactions . - 50 . 2013 , 7 , S. 241 - 251 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Wafer Bonding, Nano Scale Energetic Material Systems |
