Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Koehler, D. ; Hiller, Karla ; Forke, Roman ; Konietzka, S. ; Billep, D, ; Heinz, S. ; Lange, A.
Development and Characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.leibniz-institut.de/page/index.php?lang=de&katID=52 | |
| Quelle: | Sensorsysteme 2012, 14th Leibniz Conference of Advanced Science, Lichtenwalde (Germany), 2012 Oct 18-19 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | high precision vibratory MEMS gyroscope system |
