Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fischer, Tobias ; Prager, Lutz ; Hohage, Joerg ; Ruelke, Hartmut ; Schulz, Stefan E. ; Richter, Ralf ; Gessner, Thomas
A two-step UV curing process for producing high tensile stressed silicon nitride layers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1557/opl.2012.1348 | |
| Quelle: | MRS Spring Meeting, San Francisco; 2012 MRS Spring Meeting Proceedings, Volume 1455, 2012 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | high tensile stressed silicon nitride layers |
