Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Loschek, Sergei ; Hermann, Sascha ; Shaporin, Alexey ; Voigt, Sebastian ; Schulz, Stefan E. ; Mehner, Jan ; Gessner, Thomas
Field emitting carbon nanotubes in MEMS-structures for movement sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-039162-0 | |
| Quelle: | 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz (Germany), 2012 Oct 23-24, S. 61 - 62 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Field emitting carbon nanotubes |
