Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fiedler, H. ; Toader, M. ; Hermann, S. ; Rennau, M. ; Schulz, S.E. ; Hietschold, M. ; Gessner, T.
Fabrication and Characterization of CNT via interconnects for application in integrated circuits
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/year/2012/conference/berlin/static/ds20.pdf ; http://www.dpg-verhandlungen.de/year/2012/conference/berlin/part/ds/session/20/contribution/6 | |
| Quelle: | DPG Frühjahrstagung, Berlin (Germany), 2012 Mar 25-30; Talk, 2012 |
