Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Waechtler, Thomas ; Mueller, Steve ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Process Development for the ALD of Thin Copper Films for ULSI Metallization Systems and Magnetosensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.sentech.de/en/News-and-Events/News/Corporate-News__2275/ | |
| Quelle: | SENTECH Plasma Process Technology Seminar, Berlin (Germany), 2011 Nov 22, 2011 |
