Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haubold, Marco ; Schubert, Ina ; Leidich, Stefan ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
Entwicklung einer Verkappungstechnologie für optische transparente NEMS/MEMS Gehäuse mit niedrigem Temperatureinstieg
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3367-5 | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress, Darmstadt, 2011 Oct 10-12; Proceedings, 2011, pp. 249-252 | |
Bemerkung: |
1 CD-ROM |
