Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schäfer, Philipp ; Nobis, Frank ; Arnold, Markus ; Gordan, Ovidiu-Dorin ; Kupfer, Hartmut ; Richter, Frank ; Zahn, Dietrich R. T.
Spectroscopic Investigations of DC Magnetron Sputtered Amorphous Silicon Thin Films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/2011/dresden/ds42.pdf | |
| Quelle: | 2011 |
