Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Otto, Thomas ; Saupe, Ray ; Stock, Volker ; Gessner, Thomas
MEMS temperature scanner system: Principle, Advances and Applications
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
URL/URN: | doi:10.1117/12.848632 | |
Quelle: | SPIE Photonics West, 2010, San Francisco (USA), 2010 Jan 23-28; Proceedings of SPIE Vol. 7594, pp 759412-1 bis 759412-6, 2010 |