Dienel, Marco ; Dötzel, Wolfram ; Mehner, Jan
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3061-2 | |
| Quelle: | In: MikroSystemTechnik Kongress. - Berlin · Offenbach : VDE VERLAG GMBH, 2007, S. 885 - 888 |
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