Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nobis, Frank ; Schäfer, Frank ; Kupfer, Hartmut ; Richter, Frank ; Zahn, Dietrich R. T.
Characterization of magnetron sputtered doped amorphous Silicon films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Physik fester Körper | |
| Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/2010/regensburg/ds9.pdf | |
| Quelle: | DPG Frühjahrstagung Regensburg, 21. - 26. 3. 2010, Regensburg, 2010 |
