Willert, Andreas ; Kreutzer, André ; Geyer, Ulrike ; Baumann, Reinhard R.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Forschung Prof. Baumann | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3183-1 | |
| Quelle: | Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2009, 12.-14. Oktober 2009, Berlin, ID 25. - S. 112-115 |
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