Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kleinhempel, Ronny ; Kaune, Gunnar ; Herrmann, Matthias ; Kupfer, Hartmut ; Hoyer, Walter ; Richter, Frank
Properties of ITO films prepared by reactive magnetron sputtering
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Physik fester Körper | |
| Institut 2: | Professur Experimentelle Physik (Röntgen- und Neutronendiffraktometrie) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0026-3672 , 1436-5073 | |
| Quelle: | In: Microchimica Acta. - 156. 2007, S. 61 - 67 |
