Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Otto, Thomas ; Saupe, Ray ; Weiss, Alexander ; Stock, Volker ; Throl, Oliver ; Graehlert, Wulf ; Kaskel,Stefan ; Schreck, Holger ; Gessner, Thomas
MEMS Analyzer for fast Determination of mixed Gases
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1117/12.816231 | |
| Quelle: | MEMS/MOEMS Conference 2009, San Jose (USA); Proceedings of SPIE Volume 7208 (72080E-1-9) |
