Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Reuter, D. ; Nowack, M. ; Rennau, M. ; Bertz, A. ; Wiemer, M. ; Kriebel, F. ; Gessner, T.
Hermetic Thin Film Encapsulation of Mechanical Transducers for Smart Label Applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-1-4244-4193-8 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/SENSOR.2009.5285526 | |
| Quelle: | Transducers 2009, Denver (USA), 2009 June 21 - 25; Tech. Digest, 2009 |
