Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Lin, Y. C. ; Baum, M. ; Haubold, M. ; Froemel, J. ; Wiemer, M. ; Gessner, T. ; Esashi, M.
Development and Evaluation of AuSi Eutectic Wafer Bonding
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-1-4244-4193-8 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/SENSOR.2009.5285519 | |
| Quelle: | Transducers 2009, Denver (USA), 2009 June 21 - 25; Proceedings; 15th International Conference on Solid-State Sensors and Microsystems (2009), pp 244 - 247 |
