Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Lin, Y. C. ; Baum, M. ; Haubold, M. ; Froemel, J. ; Wiemer, M. ; Gessner, T. ; Esashi, M.
Characterization of eutectic wafer bonding using Gold and Silicon
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-89838-616-6 | |
Quelle: | Smart Systems Integration 2009, Brussels (Belgium), 2009 Mar 10 - 11; Proceedings, pp 56 - 63 |