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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Jia, C. ; Wiemer, M. ; Grunert, J. ; Otto, T. ; Gessner, T.

A novel method for the fabrication of deep-submicron structure


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, nicht referiert
ISBN/ISSN: ISBN 978-3-89838-616-6
Quelle: Smart Systems Integration, Brussels (Belgium) 2009 Mar 10 - 12

Bemerkung:

CD-ROM

 

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