Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jia, C. ; Wiemer, M. ; Grunert, J. ; Otto, T. ; Gessner, T.
A novel method for the fabrication of deep-submicron structure
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-89838-616-6 | |
Quelle: | Smart Systems Integration, Brussels (Belgium) 2009 Mar 10 - 12 | |
Bemerkung: |
CD-ROM |