Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Peter, Siegfried ;
Günther, Marcus ;
Belsky, Petr ;
Hauschild, Dirk ;
Herrmann, Matthias ;
Richter, Frank
Neugebauer, Reimund
Optimierung der Isolatorschichtabscheidung für metallbasierte Piezomodule
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-00-027544-9 | |
| Quelle: | 2. Wissenschaftliches Symposium des SFB/Transregio 39 "Großserienfähige Produktionstechnologien für leichtmetall- und faserverbundbasierte Komponenten mit integrierten Piezosensoren und -aktoren", 27./28. April 2009, Dresden , SFB/Transregio 39 - PT-PIESA Dresden, S. 39-44. - Chemnitz : Technische Universität Chemnitz, Fakultät für Maschinenbau, 2009 |
