Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sorger, Alexander ; Shaporin, Alexey ; Mehner, Jan
Simulation of air damping in arbitrary complex MEMS
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-00-029135-7 | |
Quelle: | 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 5./6. November, Chemnitz, S. 90 - 95. - Chemnitz : Technische Universität Chemnitz, 2009 |