Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ahner, N. ; Schulz, S.E. ; Blaschta, F. ; Rennau, M.
Optical, electrical and structural properties of spin-on MSQ low-k dielectrics over a wide temperature range.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2008.05.029 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering. - 85. 2008, 10, S. 2111 - 2113 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | low-k dielectrics , temperature , MSQ |
