Nestler, Jörg ; Hiller, Karla ; Otto, T. ; Gessner, T.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0948-3128 | |
| Quelle: | In: MST-News : international newsletter on microsystems and MEMS. 2008, 03, S. 18 - 21 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | micro mctuators , actuators , structured water |
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