Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Frühauf, Joachim ; Seifert, Mario ; Sorger, Alexander
Application of Etched Silicon Springs as Guiding Mechanism for the Stylus in Tactile Surface Profilers
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-8322-6912-8 | |
Quelle: | XII. International Colloquium on Surfaces, January 28 - 29 2008, Chemnitz, Germany ; Proceedings. - Shaker-Verlag, 2008. - S. 296 - 305 |