Shaporin, Alexey ; Forke, R. ; Schmiedel, R. ; Dotzel, W.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3081-0 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration, Barcelona (Spain), 2008 Apr 9-11, pp. 528-531, 2008 |
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