Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
May, D.* ; Heilmann, J. ; Boschman, E. ; Abo Ras, M. ; Wunderle, B.
Tilt- and warpage measurement as inline quality assessment tool
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0026-2714 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.microrel.2022.114601 | |
| Quelle: | In: Microelectronics Reliability. - Elsevier BV. - 135. 2022, 114601 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | inline testing , quality assessment , 100% inspection , chip , tilt , warpage | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
