Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Heinke, Robert ; Ehrhardt, Martin* ; Bauer, Jens ; Lotnyk, Andriy ; Lorenz, Pierre ; Morgenstern, Roy ; Lampke, Thomas ; Arnold, Thomas ; Zimmer, Klaus
Low surface damage laser processing of silicon by laser-induced plasma etching (LIPE)
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoff- und Oberflächentechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN: 1873-5584 ; Print ISSN: 0169-4332 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.apsusc.2022.153712 | |
| Quelle: | In: Applied Surface Science. - Elsevier B.V. - 597. 2022, 153712 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Ultrashort pulsed laser , Laser-induced plasma , Plasma etching , Silicon , Subsurface defects , LIPE |
