Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fritzsche, Ronny ; Zahn, Dietrich R. T. ; Mehring, Michael*
Atmospheric pressure metal organic chemical vapor deposition of thin germanium films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | BMBF | |
| Institut 1: | Professur Koordinationschemie | |
| Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1573-4803 ; 0022-2461 | |
| DOI: | doi:10.1007/s10853-021-05871-9 | |
| URL/URN: | https://link.springer.com/article/10.1007/s10853-021-05871-9 | |
| Quelle: | In: Journal of Materials Science. - Springer Nature. - 2021 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | germanium , organometallic compounds , cyclopentadienyl , AP MOCVD , thin films | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
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| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
