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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


König, D. ; Scholz, R. ; Zahn, Dietrich R. T. ; Ebest, Gunter

Band Diagram of the AlF3/SiO2/Si System


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Professur Halbleiterphysik
Institut 2: Professur Theoretische Physik (-Theorie ungeordneter Systeme-)
Institut 3: Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 0021-8979
URL/URN: doi:10.1063/1.1886909
Quelle: In: Journal of Applied Physics. - 97. 2005, 093707-1 - 093707-9

 

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