Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Moser, Rüdiger ;
Kunzer, Michael ;
Goßler, Christian ;
Schmidt, Ralf ;
Köhler, Klaus ;
Pletschen, Wilfried ;
Schwarz, Ulrich T. ;
Wagner, Joachim
Graf, Thomas ; Mackenzie, Jacob I. ; Jelínková, Helena ; Powell, John
Laser processing of GaN-based LEDs with ultraviolet picosecond laser pulses
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Experimentelle Sensorik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0277-786X | |
| DOI: | doi:10.1117/12.921843 | |
| Quelle: | SPIE Photonics Europe, 2012, Brussels, Belgium. - SPIE, 2012. - Proceedings ; Volume 8433, Laser Sources and Applications ; 84330Q (2012) | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Light emitting diodes , Laser processing , Photomasks , Picosecond phenomena , Laser ablation , Semiconducting wafers , Laser systems engineering |
