Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kaupmann, Philip* ; Pinter, Stefan ; Franz, Jochen ; Streiter, Reinhard ; Otto, Thomas
A Novel Gyroscopic Actuation Concept for 2D MEMS Micromirrors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2504-3900 | |
| DOI: | doi:10.3390/proceedings1040546 | |
| Quelle: | Eurosensors Conference, Paris (France), 2017 Sep 3-6, Proceedings 2017, Proceedings / MDPI AG. - 1.2017, 4, S. 546 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MOEMS , micromirror , indirect actuation , ansys , transient simulation | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
