Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Liedke, M.O. ; Köhler, Nicole ; Butterling, M. ; Attallah, A.G. ; Krause-Rehberg, R. ; Hirschmann, E. ; Schulz, Stefan E. ; Wagner, A.
In-situ investigations of the curing process in ultra low-k materials
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.ppc12.umcs.pl/abstracts/Book_of_Abstracts_PPC12.pdf | |
| Quelle: | 12th International Workshop on Positron and Positronium Chemistry, Lublin (Poland), 2017 Aug 28 - Sept 1; Talk, S 25 |
