Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kaupmann, Philip* ; Pinter, S. ; Franz, J. ; Streiter, Reinhard ; Otto, Thomas
Design of a 2D MEMS Micromirror with Indirect Static Actuation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5090-1012-7 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-5090-1013-4 | |
| DOI: | doi:10.1109/ICSENS.2017.8234252 | |
| Quelle: | IEEE Sensors 2017 Conference, Glasgow (UK), 2017 29 Oct- 01 Nov, 2017 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Micromirror , Static Actuation , Gyroscopic Actuation , Micromechanical devices , IP networks, Oscillators, Two dimensional displays, Springs |
