Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Himcinschi, C. ; Singh, R. ; Moutanabbir, O. ; Scholz, R. ; Reiche, M. ; Christiansen, S.H. ; Gösele ; Zahn, Dietrich R. T.
Etching-back of Uniaxially Strained Silicon on Insulator Investigatetd by Spectroscopic Ellipsometry
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0031-8965 | |
| URL/URN: | doi:10.1002/pssa.200777753 | |
| Quelle: | In: Physica Status Solidi a: Applications and Materials Science. - 205. 2008, 4, S. 841 - 844 |
