Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Peter, Siegfried* ; Speck, Florian ; Lindner, Marina ; Seyller, Thomas
Analysis of a-SiCN:H films by X-ray photoelectron spectroscopy
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Experimentalphysik mit dem Schwerpunkt Technische Physik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN: 1879-2715 ; Print ISSN: 0042-207X | |
| DOI: | doi:10.1016/j.vacuum.2016.09.016 | |
| Quelle: | In: Vacuum. - Elsevier B.V. - 138. 2017, S. 191 - 198 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | a-SiCN:H , XPS | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | a-SiCN:H , XPS |
