Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kögel, Elias ; Ramsbeck, Marco
Low Pressure Measurement by use of Stress Sensitive Ring Oscillators and their Beat Frequency
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-00-054047-9 | |
| Quelle: | 13. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, 25./26.10.2016, S. 69 - 70 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | pressure measurement , stress mobility , ring oscillator |
