Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Peter, Siegfried ;
Speck, Florian ;
Lindner, Marina ;
Seyller, Thomas
Kovač, Janez ; Jaka, Gregor (eds.)
Analysis of a-SiCN:H films by X-Ray photoelectron spectroscopy
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Experimentalphysik mit dem Schwerpunkt Technische Physik | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-961-92989-8-5 | |
| Quelle: | 16th Joint Vacuum Conference (JVC-16) [and] 14th European Vacuum Conference (EVC-14) [and] 23rd Croatian-Slovenian Vacuum Meeting, [6-10 June 2016, Portoro¸, Slovenia] ; [organised by Slovenian Society for Vacuum Technique (DVTS)]. - Ljubljana : Slovenian Society for Vacuum Technique (DVTS), 2016, p. 40 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Graphene |
