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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Peter, Siegfried ; Speck, Florian ; Lindner, Marina ; Seyller, Thomas
Kovač, Janez ; Jaka, Gregor (eds.)

Analysis of a-SiCN:H films by X-Ray photoelectron spectroscopy


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Experimentalphysik mit dem Schwerpunkt Technische Physik
Dokumentart: Konferenzabstract
ISBN/ISSN: ISBN 978-961-92989-8-5
Quelle: 16th Joint Vacuum Conference (JVC-16) [and] 14th European Vacuum Conference (EVC-14) [and] 23rd Croatian-Slovenian Vacuum Meeting, [6-10 June 2016, Portoro¸, Slovenia] ; [organised by Slovenian Society for Vacuum Technique (DVTS)]. - Ljubljana : Slovenian Society for Vacuum Technique (DVTS), 2016, p. 40
Freie Schlagwörter (Englisch): Graphene

 

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