Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Lin, Yu-Ching* ; Tsai, Yao-Chuan* ; Ono, Takahito ; Liu, Pan ; Esashi, Masayoshi ; Gessner, Thomas ; Chen, Mingwei
Metallic glass as a mechanical material for micro scanners
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1002/adfm.201502456 | |
| Quelle: | In: Advanced Functional Materials. - WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim. - 25. 2015, 35, S. 5677 - 5682 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , metallic glass , microscanner , optical coherence tomography , PZT |
