Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kaufmann, Christian
Michel, B. (Editor-in-Chief); Otto, T.; Schulz, S.E.; Winkler, T.
The History of Micro Mirror Fabrication at the Center of Microtechnologies
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-932434-78-5 | |
| Quelle: | In: Michel, B. (Editor-in-Chief); Otto, T.; Schulz, S.E.; Winkler, T.: Smart Systems Integration for Micro- and Nanotechnologies. - Dresden : goldenbogen verlag, 2014, S. 315 - 326 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Layer Deposition , micro scanners |
